友达光电（AUO）使用由第6代大尺寸底板生产线的等离子CVD装置形成的微晶硅，试制出了32英寸电视用TFT液晶面板（图1）。该公司在展会上展出了这种新面板，并在研讨会上介绍了其技术内容（演讲编号：24.3）。

图1：展出采用微晶硅制成的32英寸液晶面板

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    与非晶硅（a-Si）TFT相比，采用微晶Si-TFT有可能获得更高的迁移率。另外，还可实现用多晶硅（p-Si）TFT难以实现的、基于第5代以后大尺寸底板的工艺（图2）。使用微晶硅制成的TFT，只需等离子CVD工序即可形成，而且近年来其在薄膜太阳能电池领域的应用也越来越广泛，这些都推动了微晶Si-TFT的开发（图3）。

图2：微晶硅与非晶硅、多晶硅的比较

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图3：微晶硅的应用

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