再掀量产热潮 解密CAAC-IGZO前沿技术

http://www.homea.hc360.com2015年04月10日10:16 来源:奥维云网(AVC)作者:王银玲T|T

    南京中电熊猫8.5代线液晶显示面板生产线已建成并于3月顺利投产,成为继夏普之后全球第二个、我国第一个实现IGZO液晶显示面板大规模量产的企业。奥维云网(AVC)预测,中电熊猫IGZO面板投入市场后,将会使得全球高分辨率、低功耗显示面板市场的竞争更加激烈。本文将对中电熊猫所使用的CAAC-IGZO技术优势及制备方式进行详细解密。

    根据奥维云网(AVC)调研,中电熊猫8.5代线IGZO液晶显示面板生产线是全球第一条采用IGZO技术、以生产超高分辨率、中小屏为主的新建8.5代线,总产能为60K/月,IGZO技术是由夏普提供。全球其他面板厂商也有IGZO的量产规划,例如三星LGD已在小批量生产IGZO面板;京东方已经完成IGZO量产技术开发,并分别在合肥8.5代线和重庆8.5代线规划30K/月产能生产IGZO面板。

    IGZO技术被视为下一代显示面板的基板技术首选。从下图可以看出,传统a-Si由于迁移率低,无法实现高分辨率,难以跟上显示面板发展的步伐;LTPS迁移率最高,可实现分辨率最高,但因其需要高温结晶工艺,目前尚无法对应6代线以上量产。而IGZO技术既可实现高分辨率,又可对应各级别世代线量产,成为各大面板厂商开发的热点。

再掀量产热潮 解密CAAC-IGZO前沿技术

    有别于其他厂商研发的a-IGZO(amorphous IGZO,非晶态IGZO)技术,夏普和中电熊猫采用的是C轴结晶(c-axis aligned crystalline,以下简称CAAC)IGZO技术。CAAC是介于纳米结晶和单晶之间的一种结晶氧化物,可以观察到其c轴具有结晶取向,a轴和b轴没有结晶取向。和a-IGZO相比,CAAC-IGZO稳定性更好。

再掀量产热潮 解密CAAC-IGZO前沿技术

    CAAC-IGZO技术是由夏普和日本半导体能源所共同开发并推向量产的。CAAC和a-IGZO一样需要使用sputter设备溅射成膜,制备CAAC时需要将基板加热成300°C左右,并在高真空和高power条件下制备成膜,并且在成膜时要极力减少设备里面的H元素,这样才能制得膜质较硬的高纯度CAAC膜。

再掀量产热潮 解密CAAC-IGZO前沿技术

    CAAC和非晶态IGZO一样具有较低的漏电流,可以实现低频驱动以降低面板功耗。因此,奥维云网(AVC)分析认为:IGZO低频驱动技术将会对显示面板高分辨率、低功耗方向的发展起到巨大的推动作用。

责任编辑:李群

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